FIPER 1342

Das rheinland-pfälzische Wirtschaftsministerium unterstützt die Firma Xiton Photonics GmbH aus Kaiserslautern mit 500.000 Euro bei der Entwicklung eines innovativen Lasersystems für die Halbleiterindustrie. Die Fördermittel stammen aus dem Technologieförderungsprogramm InnoTop des Wirtschaftsministeriums, das durch den Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) mitfinanziert wird.

Entwicklungsziel des Projektes „Entwicklung eines Festkörperlasers mit hoher Impulsrepetitionsrate bei einer Emissionswellenlänge von 1342 nm“ (FIPER 1342) ist die Realisierung einer neuartigen Strahlquelle bei der Wellenlänge 1342 nm für Applikationen in der Halbleiterindustrie. Beim Schneiden der Halbleiterwafer, dem sogenannten „Stealth Dicing“ soll das spezielle Lasersystem die Schneidegeschwindigkeit und Qualität der Mikrochips erhöhen.

Die aktuellen Produkte der Xiton Photonics GmbH sind auf Impulsrepetitionsraten in der Größenordnung von 10 kHz limitiert. Für die Erschließung des Halbleitermarktes muss diese um mindestens den Faktor 10 erhöht werden bei Erhaltung der exzellenten Strahleigenschaften. Unterstützt wird die Xiton Photonics GmbH bei der Elektronikentwicklung durch eine Kooperation mit der AG „Theoretische Elektrotechnik/Metamaterialein und Terahertz-Technologie“ an der Technischen Universität Kaiserslautern unter Leitung von Prof. Marco Rahm.